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晶圓傳載解決方案

300mm 晶圓載具

300mm Diffuser FOUP

專為 300mm 晶圓儲存與搬運設計的前開式晶圓傳送盒(FOUP),以精密結構與領先工藝,提供半導體製程的關鍵解決方案。此規格搭載高效能氣體擴散器(Diffuser),可進一步強化內部微環境控制效能,確保晶圓於搬運與儲存過程中免於粒子與化學汙染。每一項結構與尺寸設計皆嚴格遵循 SEMI 國際標準,確保全球半導體廠區可無縫整合、高效導入。
  • 尺寸
    300mm
  • 材質
    低吸濕
  • 片數
    25片
  • 用途
    運輸傳載與儲存時的高效能防護,絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。
特色
  • 低釋氣材質,大幅度降地有機化合物釋出,防止汙染晶圓
  • 氣體擴散片設計,可以加速內部濕度下降
  • 靜電消散材質,避免晶圓受靜電損害
  • 耐磨材質,減少particle生成
  • 絕佳氣密性
  • 支援OHT
  • 支援RFID功能
  • 支援充氣功能
  • .部份耗材具替換性,可減少資源浪費,降低客戶成本