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光罩傳載解決方案
RSP 150
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尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材質
PEEK(ESD)
ABS(ESD)
PC(ESD)
PC
PEEK
片數
1
6
用途
單片光罩傳送及高效能儲存
六片光罩傳送及高效能儲存
適用載具
ASML曝光機
Nikon曝光機
ASML/Nikon曝光機
支援SMIF標準機械介面
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